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以钛酸四丁酯为前驱体,采用溶胶一凝胶一超声波法制备得到了纳米TiO2溶胶,在单面抛光的硅片上采用旋转涂膜法涂上TiO2溶胶,快速烘干,再经烧结得到TiO2薄膜,并利用XRD,XPS与AFM对其结构性能进行表征,结果表明,膜厚度大约可控在3-5nm,膜表面颗粒大小约20nM,膜的组成主要为锐钛矿型TiO2和少量有机碳化物。在制备TiO2薄膜时,发现膜层随着镀膜次数变化显示不同的颜色差异,并有着良好的对应关系。以此现象入手研究不同颜色的TiO2薄膜在同一光催化条件下甲醛的降解分析,实验结果发现呈蓝色光的TiO