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通过优化高频换能器设计、极薄压电薄膜制备等技术,试制出了K波段BAW延迟线样品.其工作中心频率为23.8GHz,插入损耗为51.9dB,带宽为1122MHz,延迟时间为299ns,直通抑制为29dB,3次渡越抑制为40dB.
K波段BAW器件技术研究
【摘 要】
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通过优化高频换能器设计、极薄压电薄膜制备等技术,试制出了K波段BAW延迟线样品.其工作中心频率为23.8GHz,插入损耗为51.9dB,带宽为1122MHz,延迟时间为299ns,直通抑制为29dB,
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十六研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2018年3期
【基金项目】
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国家科技部重点研发计划项目资助
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