【摘 要】
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1 等离子体及其应用等离子体加工是在半导体制造中而创立起来的一种技术。它早在半导体制造中得到了广泛地应用,是半导体制造的支柱。因而,它在IC加工中是一种很长久而成熟的
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1 等离子体及其应用等离子体加工是在半导体制造中而创立起来的一种技术。它早在半导体制造中得到了广泛地应用,是半导体制造的支柱。因而,它在IC加工中是一种很长久而成熟的技术。由于等离子体是一种具有很高能量和极高活性的物质,它对于任何有机材料等具有很好的蚀刻作用,因而也被引用到PCB制造中来。首先是用于多层板钻孔后去钻(沾)污方面,特別是挠性印制板和刚-挠性印制板钻污的处理上,因采用化学法处理这类钻污,其效果是不理想的,而采用等离子体去钻污可获得孔壁较好的
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