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利用干涉法，扫描电子显微镜、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）等方法分析ｓｏｌ－ｇｅｌ法制备的ＫＴＮ（钽铌酸钾）薄膜，详细分析讨论ｇｅｌ膜制备及热处理过程各因素对薄膜厚度及均匀性的影响。结果表明控制ｇｅｌ膜厚度及均匀性的关键是根据溶液黏度的变化及时调整匀胶转速、热处理过程中用低的升降温速度和通氧。
sol—gel法制备KTN薄膜厚度及均匀性控制
【摘 要】
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利用干涉法，扫描电子显微镜、Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）等方法分析ｓｏｌ－ｇｅｌ法制备的ＫＴＮ（钽铌酸钾）薄膜，详细分析讨论ｇｅｌ膜制备及热处理过程各因素对薄膜厚度及均匀性的影响。结果表明控制ｇｅｌ膜厚度及均匀性的关键是
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2000年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 !5930 2 0 1 5
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