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sol—gel法制备KTN薄膜厚度及均匀性控制
sol—gel法制备KTN薄膜厚度及均匀性控制
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tony_yang123
【摘 要】
:
利用干涉法,扫描电子显微镜、X射线衍射(XRD)等方法分析sol-gel法制备的KTN(钽铌酸钾)薄膜,详细分析讨论gel膜制备及热处理过程各因素对薄膜厚度及均匀性的影响。结果表明控制gel膜厚度及均匀性的关键是
【作 者】
:
王龙海
王世敏
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
2000年2期
【关键词】
:
溶胶凝胶法
钽铌酸钾薄膜
厚度控制
均匀性控制
solgel process KTN thin films control of thickness contr
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目 !5930 2 0 1 5
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利用干涉法,扫描电子显微镜、X射线衍射(XRD)等方法分析sol-gel法制备的KTN(钽铌酸钾)薄膜,详细分析讨论gel膜制备及热处理过程各因素对薄膜厚度及均匀性的影响。结果表明控制gel膜厚度及均匀性的关键是根据溶液黏度的变化及时调整匀胶转速、热处理过程中用低的升降温速度和通氧。
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