【摘 要】
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采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝(Poly Aluminium Chloride,PAC)作为混凝剂,在添加浓度
【机 构】
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同济大学环境工程与科学学院,同济大学苏州研究院
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采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝(Poly Aluminium Chloride,PAC)作为混凝剂,在添加浓度为0.5‰、反应pH值为8.0时,可有效降低化学机械研磨废水中溶解硅的初始浓度;配合板式膜过滤和反渗透工艺,最终产水的导电度小于50 μs/cm,浊度小于1.0 NTU,溶解硅浓度小于0.001‰。产水的水质优于自来水,可回用至超纯水系统作为超纯水制备的原水。
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