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化学机械研磨废水相关论文
集成电路制造厂化学机械研磨废水回用技术
采用混凝+板式膜+反渗透工艺对某集成电路制造厂的化学机械研磨废水进行处理。试验和实际应用结果表明:采用聚合氯化铝(Poly Alumi......
期刊
化学机械研磨废水
混凝
板式膜
反渗透
回收水
超纯水
化学机械研磨废水处理及回用技术的研究进展
化学机械研磨废水产生量大但总体污染物浓度不高,回用潜力巨大,其处理及回用技术是芯片制造企业的研究重点。文章介绍了化学机械研......
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芯片制造
化学机械研磨废水
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