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SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点.目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品.介绍了SOI晶片的种类,SOI晶片在传感器和MEMS中应用的特点、SOI传感器的典型产品以及发展趋势.
SOI传感器的现状和发展趋势
【摘 要】
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SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点.目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品.介绍了SOI晶片的种类,SOI晶片在传感器和MEMS中应用的
【机 构】
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中国电子科技集团公司,哈尔滨理工大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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2003年5期
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