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SOI传感器的现状和发展趋势
SOI传感器的现状和发展趋势
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nongfeng4
【摘 要】
:
SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点.目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品.介绍了SOI晶片的种类,SOI晶片在传感器和MEMS中应用的
【作 者】
:
海涛
刘光辉
周真
卢为
【机 构】
:
中国电子科技集团公司,哈尔滨理工大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
SOI传感器
发展趋势
发展现状
SOI晶片
力学传感器
化学传感器
光传感器
磁传感器
硅氧化物绝缘体
silicon on insulator (SOI)
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SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点.目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品.介绍了SOI晶片的种类,SOI晶片在传感器和MEMS中应用的特点、SOI传感器的典型产品以及发展趋势.
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