本文对SIMOXSOI材料的顶层硅和SiO2埋层的厚度及均匀性进行了分析计算,并对注入过程中影响注入能量和剂量的参数进行了改进和控制,......

SOI传感器具有耐高温、抗辐射、易于批量生产等优点.目前已开发出力学传感器、化学传感器、光传感器和磁传感器等新产品.介绍了SOI......

记者从中国科学院上海微系统与信息技术研究所获悉，近期，该所研究员王曦领导的SOI研究小组，在上海新傲科技有限公司研发平台上，通过技......

据报道．中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员王曦领导的SOI研究小组．在上海新傲科技有限公司的研发平台上．通过技术创新．制备......

介绍了近年来国外ＳＯＩ晶片制造技术的进展及ＳＯＩ晶片在ＵＬＳＩ方面的应用情况。...

利用改进的BGSOI工艺成功制备低表面应力的厚膜SOI晶片,并表征晶片的显微结构、界面和表面应力。研究结果显示：晶片的各层区域分明,......

本文报道了通过500 keV从1013cm-2到3×1014cm-2的不同剂量的28Si离子自注入技术,结合不同温区退火,在SOI晶片中引入一系列发......

随着通信容量的快速增长,光通信系统对器件的要求越来越高。一方面,传统的光探测器作为光通信系统中的关键器件之一,材料、结构和......