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报导了对圆形平面靶直流磁控反应溅射生成的SnO2薄膜的实验测试和对实验结果的分析。研究结果表明,SnO2薄膜对一些有毒气体或可燃性气体有强的气敏效应和良好的选择性。对SnO2薄膜的掺杂可大大改变气敏元件的灵敏度、选择性和工作温度。本文还对其工作机理进行探讨及提出可能的解释。
磁控反应溅射SnO2薄膜的气敏特性
【摘 要】
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报导了对圆形平面靶直流磁控反应溅射生成的SnO2薄膜的实验测试和对实验结果的分析。研究结果表明,SnO2薄膜对一些有毒气体或可燃性气体有强的气敏效应和良好的选择性。对SnO
【机 构】
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福州大学物理系,中山大学物理系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1993年5期
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