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阐述了国内硅烷的生产现状、所采用的技术路线以及在引进国外技术方面所面临的问题。对硅化镁法生产硅烷的工艺过程中比较突出的几个问题如氨的回收,杂质水、氢和碳氢化合物等谈了自己的看法和处理意见。
对国内硅烷生产的几点看法
【摘 要】
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阐述了国内硅烷的生产现状、所采用的技术路线以及在引进国外技术方面所面临的问题。对硅化镁法生产硅烷的工艺过程中比较突出的几个问题如氨的回收,杂质水、氢和碳氢化合物
【机 构】
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浙江大学半导体材料研究所,杭州新世纪混合气体有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2009年6期
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