声表面波NO_2传感器的研究进展

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NO2是一种主要的大气污染物,同时对人体健康也有较大的危害,针对其进行检测的传感器的研究和开发就显得十分重要。声表面波气体传感器具有便携性、快速响应、高灵敏度、高稳定性、低成本等特点,引起了国内外相关研究者的广泛关注。简要介绍了声表面波(SAW)气体传感器工作的基本原理、传感器敏感膜与NO2气体的作用机理以及SAW-NO2气体传感器的两种结构类型,综述了SAW-NO2气体传感器常用的几种敏感膜材料,并对SAW-NO2气体传感器的发展趋势做了展望。
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