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<正>2011年12月22日,极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项(以下简称"集成电路装备专项")工作总结暨部署大会在上海召开。专项领导小组组长、科技部副部长曹健林,专项第一行政责任人、上海市副市长沈晓明,科技部重大专项
国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项2011年度工作总结暨部署大会
【摘 要】
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<正>2011年12月22日,极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项(以下简称"集成电路装备专项")工作总结暨部署大会在上海召开。专项领导小组组长、科技部副部长曹健林,专项
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年12期
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