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对于典型的集成电路制造装备，提出了一种面向自动测试系统的多层次测试模型；使用层次化建模方法进行建模，将典型集成电路制造装备的测......
国家科技重大专项项目申报具有时间紧、任务重、要求高的特点,加强项目申报分析、组织和管理十分关键。本文就重大专项申报过程及......
几何量计量技术已被广泛应用到航空航天、高铁、船舶、风电、核电、汽车、集成电路制造装备、大型飞机等先进制造领域。伴随着先进......
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<正>与国外半导体装备巨头相比,国内厂商仍存较大差距,当前国内高端制造装备大多仍需依赖进口。专家表示,国产半导体装备业亟须努......
集成电路装备集成了基础理论，基础材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、真空技术、精密机械、装备制造、统计分析、计量......
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<正>2011年12月22日,极大规模集成电路制造装备及成套工艺重大专项(以下简称"集成电路装备专项")工作总结暨部署大会在上海召开。......
