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Adixen ATH300是一种复合涡轮分子泵，能够提供强大的马达转矩，从而提高抽气速率。它有一个100毫米的入口法兰，在10-10到0．1毫巴的真空中，抽气速率能够达到300升／秒。这种泵具有便于快速装配的设计。它可以应用于CD／DVD以及其它的溅射工艺中，以及负荷固定和压力循环中。
涡轮分子泵
【摘 要】
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Adixen ATH300是一种复合涡轮分子泵，能够提供强大的马达转矩，从而提高抽气速率。它有一个100毫米的入口法兰，在10-10到0．1毫巴的真空中，抽气速率能够达到300升／秒。这种泵具有便于
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年3期
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