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通过对多晶硅各生产工艺过程中碳元素来源、分离提纯、转化分布等情况进行分析,找出控制硅粉中碳质量分数,优化提纯工艺参数等措施来控制氯硅烷中碳质量分数从而控制产品多晶硅中的碳质量分数,同时严格控制氢气中甲烷质量分数也可以降低产品中碳质量分数、提升产品质量。
多晶硅产品中碳质量分数的影响因素及控制措施
【摘 要】
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通过对多晶硅各生产工艺过程中碳元素来源、分离提纯、转化分布等情况进行分析,找出控制硅粉中碳质量分数,优化提纯工艺参数等措施来控制氯硅烷中碳质量分数从而控制产品多晶
【机 构】
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青海民族大学; 青海省亚硅硅材料工程技术有限公司; 青海省硅材料重点实验室; 亚洲硅业(青海)有限公司;
【出 处】
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现代化工
【发表日期】
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2004年期
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