【摘 要】
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为减少环形子孔径拼接干涉检测中机械误差对检测结果造成的影响，分析环形子孔径拼接过程中机械误差作用分量的表现形式，提出了分离机械误差的全局优化的环形子孔径拼接方法。分
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院大学
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为减少环形子孔径拼接干涉检测中机械误差对检测结果造成的影响，分析环形子孔径拼接过程中机械误差作用分量的表现形式，提出了分离机械误差的全局优化的环形子孔径拼接方法。分析根据波像差理论建立的机械误差分离数学模型，然后将其应用于避免误差传递和累积的全局优化的拼接方法中，并提出利用光线追迹的方法在拼接之前除去理想非球面波前与参考球面波前的差别。应用分离机械误差的拼接方法对口径为75mm、顶点曲率半径为100mm的抛物面面形进行检测，得到的面形峰谷值误差为0．05λ，均方根值误差为O．003λ，验证了该拼接方法可有
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