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为了研究聚酰亚胺薄膜在308nm准分子激光下的剥离效果,采用实验研究的方法,分别探究了激光能量密度、光斑重叠率、脉冲频率、衬底温度对激光剥离效果的影响,并结合显微镜观察剥离后的衬底和薄膜形貌。结果表明,激光剥离能量阈值约为160mJ/cm 2,在激光能量密度为180mJ/cm 2~190mJ/cm 2左右、光斑重叠率为68.33%时,剥离效果较好;提高衬底温度有利于激光剥离过程。该研究对聚酰亚胺薄膜在柔性电子领域的工业化应用具有一定意义。