【摘 要】
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随着大规模和超大规模集成电路的出现,电路的集成度不断提高,正朝着电路图形的超细化和薄膜化方向发展。随之对电子用水规定了很严格的技术指标,水的比电阻率不能低于18MΩ—
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随着大规模和超大规模集成电路的出现,电路的集成度不断提高,正朝着电路图形的超细化和薄膜化方向发展。随之对电子用水规定了很严格的技术指标,水的比电阻率不能低于18MΩ—cm(25℃),粒径大于1μm的微粒数低于2个/毫升,细菌个数少于1个/毫升,TOC(总有机碳)低于75微克/升,其它各金属离子都在1ppb以下。
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