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用ARIDUS膜去溶剂化进样器,在ICP-MS的标准状态(STD)和冷焰状态(PS)测定电子级高纯过氧化氢中的34个痕量金属杂质,用铟作内标可补偿基体效应,方法检出限为0.1~70ng/L,加标回收率为90%~110%,长时间相对标准偏差(RSD)小于5%,ICP-MS测定结果与ICP光谱测定结果基本一致,ICP-MS提高了分析的准确性和工作效率.