全离子注入NPN型偶载场效应晶体管的离子注入工艺研究

来源 :北京师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：zuiainivip

【摘要】

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通过trim软件和高斯模型对离子注入后快速退火载流子分布进行设计,初步构造出离子注入的分布图像,通过与实验结果比较,进一步完善模型.选用高斯与半高斯混合模型,得到了与实

【作者】

：

于理科郭慧民任永玲李国辉姬成周

【机构】

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北京师范大学教育部射线束与材料改性重点实验室

【出处】

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北京师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2003年3期

【关键词】

：

NPN型偶载场效应晶体管离子注入工艺 VDCFET 离子注入射程分布理论高斯模型混合模型 ion implantation Gauss model h

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通过trim软件和高斯模型对离子注入后快速退火载流子分布进行设计,初步构造出离子注入的分布图像,通过与实验结果比较,进一步完善模型.选用高斯与半高斯混合模型,得到了与实验结果更吻合的模拟方案.从而找到了研制NPN型偶载场效应晶体管(VDCFET)离子注入的最佳条件,并研制了性能良好的VDCFET.

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