【摘 要】
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采用溶胶凝胶法成功地制备出氮化镓薄膜．以单质镓为镓源制备镓盐溶液、柠檬酸为络合剂制备出前驱体溶胶，再甩胶于Si（111）衬底上，在氨气氛下热处理制备出GaN薄膜．X射线衍射（XRD）分析及
【机 构】
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西北大学信息学院,中国科学院西安光学精密器械研究所
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采用溶胶凝胶法成功地制备出氮化镓薄膜．以单质镓为镓源制备镓盐溶液、柠檬酸为络合剂制备出前驱体溶胶，再甩胶于Si（111）衬底上，在氨气氛下热处理制备出GaN薄膜．X射线衍射（XRD）分析及选区衍射分析（SAED）表明所制备的薄膜是六角纤锌矿结构GaN薄膜；XPS分析其表面，结果显示样品中的镓元素、氮元素均以化合态存在，且Ga：N约为1：1；PL谱分析结果表明所制备的薄膜具有优良的发光性能．
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