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电容式传感器具有许多独特的优点，是当今传感器技术的重要发展方向之一，具有广阔的应用前景。文中介绍电容式传感器的工作原理、结构、测量线路及制造工艺特点。
电容式角度传感器概述
【摘 要】
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电容式传感器具有许多独特的优点，是当今传感器技术的重要发展方向之一，具有广阔的应用前景。文中介绍电容式传感器的工作原理、结构、测量线路及制造工艺特点。
【机 构】
：
西安微电机研究所
【出 处】
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微电机
【发表日期】
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1995年04期
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