【摘 要】
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在室温下采用电子束蒸发的办法制备二氧化锆(ZrO2)薄膜.借助紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)等方法研究了薄膜的透射率和表面结构.同时研究了不同退火温
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在室温下采用电子束蒸发的办法制备二氧化锆(ZrO2)薄膜.借助紫外分光光度计、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)等方法研究了薄膜的透射率和表面结构.同时研究了不同退火温度对薄膜物理性质的影响.在退火温度700,900,1 050℃时显微镜图像没有明显差别.随着退火温度的变大,薄膜表面的晶粒的直径逐渐变大,但粒径均在25 nm左右.当退火温度达到1 150℃时,粒径变得很大(约400 nm).在700,900,1 050℃下退火后的薄膜的X射线衍射谱没有明显差别.在退火温度1 150℃下出现了较高
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