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制冷机低温泵自动再生系统的研究
制冷机低温泵自动再生系统的研究
来源 :低温与超导 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangyujia
【摘 要】
:
制冷机低温泵应用广泛,但连续运转时再生必不可少.文中介绍了由单片机组成的制冷机低温泵自动再生系统,对再生过程进行了讨论,再生参数可由用户设定,因此具有自动化程度高,使
【作 者】
:
龙瑛
陈家富
严善仓
【机 构】
:
信息产业部第十六研究所
【出 处】
:
低温与超导
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
制冷机
低温泵
自动再生系统
再生过程
High vacuum
Cryopump
Auto-regeneration
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制冷机低温泵应用广泛,但连续运转时再生必不可少.文中介绍了由单片机组成的制冷机低温泵自动再生系统,对再生过程进行了讨论,再生参数可由用户设定,因此具有自动化程度高,使用灵活方便等特点,可得到广泛的应用.
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