真空测量

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真空测量通常是指稀薄气体全压的测量。用于测量真空度的仪器称为真空规或真空计。真空测量的主要特点有:量程宽(10~2—10~(-15)托);测量的精度和准确度相对低;由于直接测量气体压强效应有困难,常要根据稀薄气体的某些特性,通过测量有关的物理量来间接确定气体的压强,因而许多真空规测的结果与气体成分有关。真空规种类繁多,各有特点和使 Vacuum measurement usually refers to the measurement of total pressure of thin gas. The instrument used to measure the degree of vacuum is called a vacuum gauge or vacuum gauge. Vacuum measurement of the main features are: wide range (10 ~ 2-10 ~ (-15) Tor); measurement accuracy and accuracy is relatively low; due to the direct measurement of gas pressure effect of the difficulties, often according to some of the characteristics of thin gas , The pressure of the gas is indirectly determined by measuring the relevant physical quantity and thus the result of many vacuum gauges is related to the gas composition. A wide range of vacuum gauge, each with its own characteristics and make
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