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采用XRD、DSC、TEM等检测方法,研究了深冷循环处理、473K退火循环处理及冷-热循环处理对Fe68Ni1Al5Ga2P9.65B4.6Si3C6.75非晶合金的微观结构、晶化过程及磁性能的影响。结果表明:经不同的循环处理后,试样仍然保持非晶结构,发生了结构弛豫,微观结构改变。但与淬态试样相比,玻璃转变温度、晶化温度及晶化峰值温度存在一定的变化。退火品化后,各试样中析出相的种类、数量、晶粒尺寸等有明显的不同。磁性能数据表明:晶化后,循环处理的试样其磁性能较淬态有所提高。