【摘 要】
：
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0~6
【机 构】
：
华中科技大学机械科学与工程学院,武汉理工大学机电工程学院
论文部分内容阅读
研究开发了一种能实现大量程位移和纳米级定位精度的一维位移工作台。工作台采用粗、精两级定位机构,以精密衍射光栅传感器组成工作台位移的闭环检测系统。工作台可以实现0~6 mm的位移及1 nm的定位分辨力。文中建立了由压电陶瓷驱动和柔性铰链导向的精定位机构的机电耦合模型,进行了精定位机构的模态分析和静力学分析,并采用ANSYS软件进行了有限元仿真运算。最后给出了工作台在表面三维微观形貌测量仪中的应用结果。
其他文献
2012年3月14日,第十一届全国人民代表大会第五次会议通过了《关于修改〈中华人民共和国刑事诉讼法〉的决定》(以下简称"新刑诉法"),这是自1996年修改刑事诉讼法以来,第二次对
《紫色》是美国当代杰出的黑人女作家——艾丽斯.沃克的代表作。它超越了以往那些注重揭露和控诉的黑人文学和妇女文学的作品,成为黑人文学和美国文学史上一座不朽的丰碑。这
<正>八宝景天别名蝎子草、华丽景天、长药景天、大叶景天、景天,属景天科景天属。主要分布在中国东北及河北、河南、安徽、山东等地,日
通过田间小区试验，研究了磷钾肥滴灌追施对玉米干物质、产量及养分吸收的影响。结果表明，磷钾肥部分基施、部分滴灌追施玉米的生物量和产量要优于磷钾肥全部基施，其中磷肥75%基
为了从红外热图像中识别和跟踪目标,提出了一种采用数学形态学和小波变换相结合的红外图像处理新方法。该方法首先利用形态开、闭滤波器组对原始图像进行平滑处理;然后采用一
当前的环境影响评价在某种程度上更侧重于环境的末端治理,无法将污染控制与生产过程控制密切结合,尤其是对能源在运输及使用过程问题不够重视。而能源审计在这方面却有着独特
<正>网络技术的日新月异与网络中各种虚拟财产交易的日益盛行,使虚拟财产地取得与丧失的法律规则问题日渐凸显。众所周知,交易的前提是财产的归属,那么,虚拟财产究竟归属于谁
<正>当前,广西北部湾地区的高速铁路正加快建设,南宁至防城港高铁已于2013年1月试运营,北部湾经济区即将进入高铁时代,南北钦防四市的同城化进程因高铁而加快。对防城港来说,
如果能及时和员工沟通,了解他们的想法、不满和意见,就可以找到解决问题的方法。
宫体诗风行梁、陈、隋三代,至唐贞观时,唐太宗依据儒家政教文学观对其进行了全面改造,变其轻艳柔媚为雅正典丽,以使其更好地为新朝服务。他认为儒学才是经邦治国之至道,是创