【摘 要】
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在中国原子能科学研究院 HI- 1 3串列加速器上建立了用 Q3D磁谱仪动量分析和ΔE- E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术 .用 1 0 0 Me V12 7I对 C/Li F多层
【机 构】
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在中国原子能科学研究院 HI- 1 3串列加速器上建立了用 Q3D磁谱仪动量分析和ΔE- E粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术 .用 1 0 0 Me V12 7I对 C/Li F多层样品的深度分布分析表明 ,表面分辨达到 1 .2 nm.所建立的ΔE(气体 ) - E(半导体 )望远镜探测器可同时分析从轻至中重的所有元素 .实测了新光电材料 Ga N,La2 Sr Cu O4 超导膜和新超硬材料 C3N4 (Si)等样品 .
At the HI-13 tandem accelerator of China Institute of Atomic Energy, a high-resolution elastic recoil detection and analysis technology was established by using the Q3D magnetic spectrometer and ΔE-E particle discrimination. Depth profile analysis of C / Li F multilayer samples revealed that the surface resolution reached 1.2 nm. The established ΔE (gas) -E (semiconductor) telescope detector simultaneously analyzes all elements from light to medium. The new photoelectric materials Ga N, La2 Sr Cu O4 superconducting film and the new superhard material C3N4 (Si) and other samples.
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