国外薄膜晶体管研究工作进展

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1962年,Weimer对薄膜晶体管的研究工作取得了显著的进展。薄膜晶体管(以下简称为TFT)技术一时引起了很多半导体器件研究者的注意。然而,由于在稳定性、重复性方面尚存在问题,应用范围也不十分明确,TFT有没有发展前途呢? 对这个问题争论甚多。整个六十年代,恰恰是硅大规模集成技术飞速发展趋于成熟的阶段。薄膜有源器件刚刚出现,很难与之竞争。其结果是对TFT的兴趣逐渐衰落,为深入了解TFT以及解决存在的问题所必须的系统研究,仅有少数几个研究小组在继续进行。 In 1962, Weimer made significant progress in the research of thin film transistors. Thin-film transistor (hereinafter referred to as TFT) technology has aroused the attention of many semiconductor device researchers. However, due to the stability and repeatability problems still exist, the scope of application is not very clear, TFT has no future development? There is much debate on this issue. Throughout the sixties, it is precisely the rapid development of large-scale integrated silicon technology to mature stage. Thin-film active devices have just emerged, it is difficult to compete with. The result is a gradual decline in interest in TFTs, and only a few research groups are continuing to conduct systematic studies necessary to gain insight into TFTs and solve problems.
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