【摘 要】
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借助Questel公司的Orbit专利数据库,对近27年内12087个与化学机械抛光(CMP)用高分子聚合物抛光垫相关的专利族(其中含有2918个核心专利族)进行分析,得出此领域全球专利申请量
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院,集成电路材料产业技术创新战略联盟,天津城建大学计算中心
【基金项目】
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国家中长期科技发展规划02科技重大专项资助项目(2016ZX02301003-004-007);河北省研究生创新资助项目(220056);河北省青年自然科学基金资助项目(F2015202267);天津市自然科学基金资助项目(16JCYBJC16100)
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借助Questel公司的Orbit专利数据库,对近27年内12087个与化学机械抛光(CMP)用高分子聚合物抛光垫相关的专利族(其中含有2918个核心专利族)进行分析,得出此领域全球专利申请量、申请趋势、专利法律状态、专利公开区域、专利权人分布、专利引用状况、专利核心概念、专利地图、IPC(国际专利分类)分布、顶级专利权人技术定位等重要信息。考察了中国内地在该领域的专利情况,为中国集成电路产业全球战略布局提供参考。
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