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根据掩模传输交换版机械手的功能和性能需求，确定其机构组成，并分别介绍了各个组成的详细结构，并结合各个部分的应用场景，进行可靠性和可维修性的分析和计算。
掩模传输交换版机械手的设计分析
【摘 要】
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根据掩模传输交换版机械手的功能和性能需求，确定其机构组成，并分别介绍了各个组成的详细结构，并结合各个部分的应用场景，进行可靠性和可维修性的分析和计算。
【机 构】
：
上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2012年12期
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