【摘 要】
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1、简介rn我公司研制的卧式PECVD设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工艺.rn由于PECVD淀积氮化硅膜时,在生长氮化硅膜作为减反射膜的同时生成了大量的原子
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1、简介rn我公司研制的卧式PECVD设备专门应用于太阳能电池制造领域中氮化硅薄膜的淀积工艺.rn由于PECVD淀积氮化硅膜时,在生长氮化硅膜作为减反射膜的同时生成了大量的原子氢,这些氢原子不但具有表面钝化作用,同时可以很好的钝化硅中的位错、表面悬挂键,从而提高硅片中载流子迁移率,具有体钝化的作用.
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