投影光刻机的坐标系与套刻步进模型

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:andrew2011
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本文介绍0.35μm(亚半微米)投影光刻机的机器,硅片,掩模,硅片对准,掩模对淮等的坐标系,并根据各坐标系讨论套刻时硅片工件台的步进模型。
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