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小型氦气闭循环致冷机低温泵的研制
小型氦气闭循环致冷机低温泵的研制
来源 :合肥工业大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuchianren
【摘 要】
:
文章详细地描述了小型氦气闭循环致冷机低温泵(亦称现代温泵)的设计、最佳结构参数的选择和主要特征。其口径Φ250mm对H2的抽速系数高达0.25。该泵主要应用于超高真空。
【作 者】
:
陈长琦
【机 构】
:
合肥工业大学
【出 处】
:
合肥工业大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
低温泵
超高真空
抽气系数
致冷机
cryopump
ultrahigh vacuum
pumping coefficient
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文章详细地描述了小型氦气闭循环致冷机低温泵(亦称现代温泵)的设计、最佳结构参数的选择和主要特征。其口径Φ250mm对H2的抽速系数高达0.25。该泵主要应用于超高真空。
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