微动工作台中双平行弹性铰链的结构设计

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弹性铰链结构是微动工作台的核心部件。提出了双平行弹性铰链结构设计的要求和设计原则;在满足双平行弹性铰链的刚度、输出位移、应力、弹性恢复力及固有频率等条件下,运用理论与有限元分析的方法时双平行弹性铰结构设计进行了研究。
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