【摘 要】
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用斜置式四探针测定了硅单晶片（Ф75mm）上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适
【机 构】
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河北工业大学微电子研究所,天津农业科学院信息研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：69272001,69672015）,河北省自然科学基金（批准号：602076）及天津市自然科学基金（批准号：013602011）资助项目
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用斜置式四探针测定了硅单晶片（Ф75mm）上3mm间距测试点的电阻率分布.本文从电阻率的统计分布出发,确定了电阻率的分隔数和差值,采用指数函数作为模糊集的隶属度,并且选择合适的门槛值,利用模糊数学将电阻率数据归类于不同的模糊集.同一模糊集对应相同的电阻率,这样使电阻率能以一定的间隔分布,然后结合MATLAB软件画出电阻率等值线,以构成Mapping图.在同一等电阻率线条上各点具有较小的阻值偏差,且剩余未连接点少.连接质量好,可以应用于指导实际生产.
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