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用QCM研究湿度特性的测试系统及纳米ZnO的制备
用QCM研究湿度特性的测试系统及纳米ZnO的制备
来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 4次 | 上传用户:zst_chengdu_xxxx
【摘 要】
:
为实现实时采集湿度变化的数据,用石英晶体微天平传感器、数据采集卡等构建湿度传感器测试系统。该系统具有灵敏度高、结构简单的优点。利用该系统作为测试平台,以纳米ZnO作为敏感膜,采用热蒸发方法制备纳米ZnO.该方法简单、易操作,制得的纳米ZnO具有四脚状,各方向针脚长度均匀。
【作 者】
:
吕家云
张健
蒋全胜
许磊
【机 构】
:
巢湖学院物理系,华东师范大学电子科学技术系
【出 处】
:
仪表技术与传感器
【发表日期】
:
2009年04期
【关键词】
:
石英晶体微天平
湿度传感器
测试系统
纳米ZNO
热蒸发
QCM
humidity sensor
test system
nano-ZnO
therm
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为实现实时采集湿度变化的数据,用石英晶体微天平传感器、数据采集卡等构建湿度传感器测试系统。该系统具有灵敏度高、结构简单的优点。利用该系统作为测试平台,以纳米ZnO作为敏感膜,采用热蒸发方法制备纳米ZnO.该方法简单、易操作,制得的纳米ZnO具有四脚状,各方向针脚长度均匀。
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