【摘 要】
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基于溶胶凝胶法,采用旋涂和喷涂相结合的工艺,制备了氧化钒(VOx,1≤x≤2.5)-氧化石墨烯(GO)复合薄膜.利用SEM、XRD、椭偏仪、紫外可见分光光度计、FTIR及高阻仪对所制薄膜的
【机 构】
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电子科技大学 光电科学与工程学院 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 光电探测及传感集成教育部重点实验室,成都,610054
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基于溶胶凝胶法,采用旋涂和喷涂相结合的工艺,制备了氧化钒(VOx,1≤x≤2.5)-氧化石墨烯(GO)复合薄膜.利用SEM、XRD、椭偏仪、紫外可见分光光度计、FTIR及高阻仪对所制薄膜的形貌、晶相、光学及电学性能进行了系统的表征测试.结果表明,加入GO之后,VOx-GO复合薄膜的电阻率由108.78Ω·cm下降至68.64Ω·cm,而薄膜的电阻温度系数(TCR)则由-1.98％·K-1提高至-2.60％·K-1.此外,VOx-GO复合薄膜还具有更高的光吸收率和工作稳定性.说明GO的加入增强了VOx薄膜作为非制冷红外探测器热敏材料的综合性能.本研究为探索基于VOx的新型红外热敏材料提供了参考,同时也对非制冷红外探测器的发展有促进作用.
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