【摘 要】
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随着微型机械电子系统（MEMS）的发展，微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流
【机 构】
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(50475153);教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-04-0266)
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随着微型机械电子系统（MEMS）的发展，微能源逐渐成为MEMS应用中的一个非常关键的问题。在同时考虑了同位素的选择及其衰变类型、粒子能谱、放射粒子能量损失率、半导体特性、载流子的产生与复合等因素的基础上，提出了一个基于β辐射伏特效应的同位素微电池的理论模型。可以用该模型计算出微电池的短路电流和开路电压。得到的模拟结果比引用文献结果稍高，还得到了表面掺杂浓度、结深以及放射粒子活度对电池输出参数的影响。
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