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本文利用元胞自动机的方法建立电子抗蚀剂显影模型,阐述了用该模型确立电子抗蚀剂显影后轮廓的方法,在结合相应的能量沉积模型和显影速率模型后,给出了电子抗蚀剂最终显影轮廓的模拟结果,并用ZEP520电子抗蚀剂进行实验验证.
一种基于元胞自动机的显影模型
【摘 要】
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本文利用元胞自动机的方法建立电子抗蚀剂显影模型,阐述了用该模型确立电子抗蚀剂显影后轮廓的方法,在结合相应的能量沉积模型和显影速率模型后,给出了电子抗蚀剂最终显影轮
【机 构】
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中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术研究室
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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2005年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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