电子抗蚀剂相关论文
随着移动通讯系统的迅速发展,声表面波器件(SAW)使用频率不断提高,从最初的几MHz到现在的几GHz,其线宽也进入亚微米、深亚微米阶段......
该文介绍采和高斯束电子束曝光系统实现纳米结构图形电子束直写的关键技术－电子束邻近效应校正技术。重点介绍电子束在抗蚀剂膜层及......
本文利用元胞自动机的方法建立电子抗蚀剂显影模型,阐述了用该模型确立电子抗蚀剂显影后轮廓的方法,在结合相应的能量沉积模型和显......
