【摘 要】
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焦深大小将直接影响激光光刻加工的最细线宽的线条的边缘倾角从而影响被加工器件性能,传统的几何光学焦深概念对有光刻胶存在的激光光刻已不适用,本文导同了会蒸的高斯光速用于
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
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焦深大小将直接影响激光光刻加工的最细线宽的线条的边缘倾角从而影响被加工器件性能,传统的几何光学焦深概念对有光刻胶存在的激光光刻已不适用,本文导同了会蒸的高斯光速用于激光光刻时光刻胶内的光场近似分布形式,由此可判断出光刻胶对光刻线条的分辨率和焦深的影响,从而提出激光光刻时焦深的新概念和估算。
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