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采用石墨发热体高温炉，对流延工艺成型的AlN陶瓷基片进行了几种烧结温度、时间的实验，并与金属发热体常压高温烧结炉烧制的AlN陶瓷基片进行了体积密度、硬度、气孔率、表面形貌和晶体结构的对比。实验表明，石墨发热体高温条件下形成的C源，对AlN陶瓷基片烧结影响不大；高温烧结条件下助剂的烧结作用明显，会提升助剂晶相的含量；可以选择性引导AlN晶面的生长；保持低温烧结条件，有利于保持AlN晶相结构。