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简要介绍了集成电路的发展趋势及其带来的相关问题和解决办法。综述了国内外对Cu互连扩散阻挡层的制备方法与工艺、阻挡层的选材、阻挡层薄膜的特性等最新研究的进展。评述了谊领域的发展趋势及可能的影响因素。
集成电路Cu互连扩散阻挡层的研究进展
【摘 要】
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简要介绍了集成电路的发展趋势及其带来的相关问题和解决办法。综述了国内外对Cu互连扩散阻挡层的制备方法与工艺、阻挡层的选材、阻挡层薄膜的特性等最新研究的进展。评述了
【机 构】
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中南大学物理科学与技术学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年12期
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