【摘 要】
：
实验优化设计了808 nm分布反馈(DFB)半导体激光器的二级布拉格光栅结构,介绍了808 nm DFB半导体激光器光栅制备的工艺过程。采用全息光刻方法和湿法腐蚀技术在Ga As衬底片上
【机 构】
：
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,
论文部分内容阅读
实验优化设计了808 nm分布反馈(DFB)半导体激光器的二级布拉格光栅结构,介绍了808 nm DFB半导体激光器光栅制备的工艺过程。采用全息光刻方法和湿法腐蚀技术在Ga As衬底片上制备了周期为240 nm的光栅图形,全息光刻系统采用条纹锁定技术降低条纹抖动和提高干涉稳定性,腐蚀液中H3PO4、H2O2和H2O的体积比为1:1:10,腐蚀时间为30 s。光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示,光栅周期为240 nm,占空比为0.25,深度为80 nm,具有完美的表面形貌及良好的连续性和均匀性。
其他文献
为了更好的开展新生适应新训练,及专业教育工作,我们对高职水产专业新生入学意愿、入学教育工作进行了调研,并提出了相关建议,供同类院校同类专业参考。
In order to better
微电网概念的提出虽然有效地弥补了大电网的诸多不足,提高了电网的可靠性,但是由于分布式能源、负荷以及储能装置接入微电网大都通过电力电子设备,再加上接入系统的背景谐波,
通过浅层水文地质勘探和水文地质参数测试，济阳沿黄地区黄河侧渗补给量约１３００ｍ３／ｄ·ｋｍ，其单宽侧渗量与黄河水位呈正相关关系。黄河侧渗水利用根据济阳实际情况，在开采条件好的地段，可用机井
采用激光照射粗糙工件表面形成散斑图像,通过自相关函数分析散斑图像的二阶统计特性,使用分形算法提取散斑图像自相关函数矩阵的参数,建立分形维数与表面粗糙度对应的样本集
2014年7月26日至27日,由中国会计学会会计教育分会主办、北京国家会计学院承办的“中国会计学会2014年学术年会”在北京召开,国内外专家学者200余人参加了本次年会。财政部副
跳高技术虽然和其他跳跃项目一样，由助跑、起跳、腾空和落地等几个部分组成。但跳高与其他跳跃项目相比，对助跑水平速度的要求相对没有那么高，而对起跳垂直速度的要求却远远大于
严宗毅 北京大学力学与工程科学系教授、博士生导师 ,1 96 3年毕业于清华大学工程力学系 ,1 96 7年和 1 980年分别在中科院力学所气体力学和生物力学方向读研究生 ,1 985年
排球专选课是普通高校普遍开设的体育课教学内容之一。对于普通高校的学生来 讲，排球选项课它即是锻炼身体的一种手段，又是丰富人际交流的一种游戏，要求学生能 够运用所学技术尽
1949年2月12日，国民党海军舰艇黄安舰在青岛起义后成功合影1949年2月12日,国民党海军舰艇黄安舰在鞠庆珍等人的组织领导下,从山东青岛起义,驶往解放区。这是解放战争时期国民
The Huize Pb-Zn deposits of Yunnan Province, located in the south-central part of the Sichuan-Yunnan-Guizhou (SYG) Pb-Zn multimetal mineralization district (MMD