论文部分内容阅读
SiC单晶作为理想的半导体材料，其特有晶体结构及高的材料硬脆性使其精密加工过程成为难点。本文基于SiC单晶材料去除机理，通过有限元方法对材料去除方式及应力进行了仿真及实验验证。仿真与实验的结果表明，基于超声复合研磨加工SiC单晶片，粗糙度降低达50％，材料去除率提高达100％。
SiC 单晶片高效精密加工机理的仿真与实验研究
【摘 要】
：
SiC单晶作为理想的半导体材料，其特有晶体结构及高的材料硬脆性使其精密加工过程成为难点。本文基于SiC单晶材料去除机理，通过有限元方法对材料去除方式及应力进行了仿真及实验
【机 构】
：
西安工业大学机电工程学院,陕西师范大学计算机科学学院
【出 处】
：
人工晶体学报
【发表日期】
：
2014年3期
【基金项目】
：
陕西省教育厅项目资助（12JK0664）,陕西省特种加工重点实验室资助（13JS044）,陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室访问学者专项计划项目,陕西省特种加工重点实验室开放基金资助项目,校长基金项目（XAGDXJJ1007）
其他文献
结合《易经》《黄帝内经》提出"内阳外阴"的人体阴阳本体结构,在此基本结构下阴阳才能根据各自的特性完成阴阳之间的气化交感,并在此结构指导下运用潜阳封髓丹加减治疗阳虚型
<正>病历摘要患者女性,34岁。主因进行性口、舌、四肢不自主运动5年,于2008年12月8日入我院治疗。患者于5年前无明显诱因逐渐出现口、舌不自主运动,表现为不自主咬舌、咬唇,
首先建立了数值模型分析工作中LED芯片的界面剪应力,根据线性累积损伤理论、Ga N薄膜和Al2O3衬底的S-N曲线及随季节变化的载荷谱,确定了Ga N薄膜的疲劳损伤系数。分析了温度
在国家确保主粮安全的粮食政策下,小麦作为中国的主粮品种,市场供求形式总体呈现平稳或略为宽松的势头,但统计数据显示,受消费结构和消费习惯影响,2013年11月和12月的面粉需
5月30日获悉，中国科学院兰州化学物理研究所先进润滑与防护材料研究发展中心复合润滑材料研究组采用简单方法成功制备出粒度均匀的聚四氟乙烯纳米微球，并已获得国家发明专利授
<正> 前言西昌农专牧医系生化室自1984年来,对畜禽血液、胆汁等的加工利用作了大量研究工作。这里我们将血红素快速提取法介绍出来,其目的是为了促进我国畜禽产品的开发和利
利用LA-ICP-MS、XRD、LRS等测试手段研究熔盐法和水热法Nb：KTP晶体中Nb的含量及分布、晶体结构和化学键特征峰的变化，分析Nb的进入和生长方法对Nb：KTP晶体结构和拉曼光谱特征的
水稻病虫害防治至关重要,影响着农民的经济收益,同时也关系着区域内的粮食总产量的高与低。因而文章主要针对水稻病虫害综合防治工作开展方式进行分析,做出了相应的阐述。首
<正>《上尉的女儿》在俄国文学史上占有重要的地位。它写于1836年,亦即普希金离世的前一年。虽然这部历史小说冠以"家庭纪事"之名,然其实际蕴含却远远超乎"家庭"之上,它是诗
会议