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在机械学领域中,类金刚石碳膜的应用尚需解决的问题之一是膜与衬底的附着性和膜厚,两者往不能统一。为此,我们采用了间歇式沉积法。实验表明,间歇式沉积可大大增加膜厚而不影响膜与衬底的附着性。
类金刚石碳膜的间歇式沉积法
【摘 要】
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在机械学领域中,类金刚石碳膜的应用尚需解决的问题之一是膜与衬底的附着性和膜厚,两者往不能统一。为此,我们采用了间歇式沉积法。实验表明,间歇式沉积可大大增加膜厚而不影
【机 构】
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西北工业大学,西北工业大学西安710072,西安710072
【出 处】
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机械工程材料
【发表日期】
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1992年5期
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