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类金刚石碳膜的间歇式沉积法

在机械学领域中,类金刚石碳膜的应用尚需解决的问题之一是膜与衬底的附着性和膜厚,两者往不能统一。为此,我们采用了间歇式沉积法......

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类金刚石碳膜沉积法间歇沉积辉光放电附着性摩擦学沉积时间离子轰击压痕沉积工艺

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辉光放电类金刚石膜间歇沉积

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