【摘 要】
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为了解决衍射光栅的表面精度,提高衍射效率,分析了衍射光栅刻划中金刚石刻划刀的定向与耐用度的关系,围绕光栅刻划刀磨制过程中如何解决振动这一关键问题,从工艺方面进行了探
【机 构】
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中国科学院长春光精密机械与物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(60478034),'十一五'国家科技支撑计划重大项目资助课题(2006BAK03A02)
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为了解决衍射光栅的表面精度,提高衍射效率,分析了衍射光栅刻划中金刚石刻划刀的定向与耐用度的关系,围绕光栅刻划刀磨制过程中如何解决振动这一关键问题,从工艺方面进行了探讨.通过确立金刚石刻划刀的定向,并在研磨过程中加以实施,使刻划刀的耐用度和寿命得到了提高.采取有效抑制导致刻划刀磨制环节中振动因素等手段,使刻划刀几个面和刀刃的粗糙度降低到0.006,刻制出的光栅衍射效率约提高了15%～20%.
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