【摘 要】
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本文通过磷表面浓度,磷结深度和磷源与磷分布之间联系的建立,揭示在磷扩的工艺控制中扩散温度、扩散时间、通源量和气氛等工艺因素对杂质分布的作用。
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本文通过磷表面浓度,磷结深度和磷源与磷分布之间联系的建立,揭示在磷扩的工艺控制中扩散温度、扩散时间、通源量和气氛等工艺因素对杂质分布的作用。
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